北极星太阳能光伏网讯:文章重点分析了管式PECVD镀膜均匀性的影响因素。通过改变PECVD镀膜过程中的腔体压力、镀膜前的恒温时间及金字塔绒面均匀性、石墨舟清洗配方等因素进行实验研究。结果显示,适当降低PECVD镀膜压力,增加镀膜前恒温时间、提升镀膜前硅片绒面均匀性、降低石墨舟表面粗糙度可以提升PECVD镀膜均匀性。
(来源:微信公众号“摩尔光伏”)
原标题:管式PECVD镀膜均匀性改善
关闭
重播
关闭
重播
京ICP证080169号京ICP备09003304号-2京公网安备11010502034458号电子公告服务专项备案
网络文化经营许可证 [2019] 5229-579号广播电视节目制作经营许可证 (京) 字第13229号出版物经营许可证新出发京批字第直200384号人力资源服务许可证1101052014340号
Copyright © 2023 Bjx.com.cn All Rights Reserved. 北京火山动力网络技术有限公司 版权所有