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一文全面了解PECVD

北极星光伏会展网 来源:摩尔光伏 2020-09-01 09:37:08

  • 2020综合能源服务专题培训第八期,9月10-11日,郑州

  • 北极星太阳能光伏网讯:等离子增强化学气相淀积(PECVD:Plasma Enhance Chemical Vapour Deposition),在硅片表面沉积一层氮化硅减反射膜,以增加入射在硅片上的光的透射,减少反射,氢原子搀杂在氮化硅中附加了氢的钝化作用。

    (来源:微信公众号“摩尔光伏”ID:molepv)

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